真空炉炉体外部容易漏气的位置有:炉门密封、主阀阀杆密封、气动球阀阀杆密封、放气阀阀芯密封、防爆阀阀芯密封、预抽阀阀杆密封、热电偶密封、加热电极密封等。真空炉体内壁外表放气。真空炉室夹层(包括炉门夹层)及气体冷却系统的水管漏水。预抽阀的阀体内部漏气,充气组阀中充气阀(高真空气动碟阀)、补气阀、分压组阀(减压阀、微调阀、电磁阀)内部漏气。
真空炉漏气毛病维修的关键,是看能否精确地判别出毛病点(漏气位置),检查办法如下:依照压升率测试办法停止压升率检测后,假如真空炉炉膛内的真空度不断降落,且管路真空度坚持不降低,阐明真空炉炉膛有漏气点。此时,应该用氦质谱检漏仪对真空炉炉膛可能存在漏气点的位置停止检漏,着重检查加热电极、热电偶装置孔和热电偶自身、气体衔接法兰和充气阀门、炉门、压力表和压力传感器衔接处、真空规管衔接处等与外界有接口的中央;
关于真空气淬炉,还应检查热交流器有无走漏,通常内部循环设备的热交流器在设备的内部,难以检查,能够应用热交流器冷却水管的接口通入氦气的办法检漏。假如真空管路上的真空度很快降落,且真空室真空度坚持较好或者略有进步,则应该对真空管路和真空泵系统停止检漏。假如真空管路和真空室真空度都不断降低,还应检查真空阀。
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